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L’ensemble des techniques mises en œuvre au sein de la plateforme MicroFab sont installés dans une salle blanche installée dans le laboratoire LIPhy. Elle est de propreté ISO 8 (classe 100 000) et comporte des flux laminaires ISO 5 (classe 100). Les techniques proposées sont : la photolithographie et le moulage de circuits microfluidiques.
Le matériel mis en jeu pour la photolithographie est :
- tournette (spincoater) TP6000 de la société Karl Süss dont les vitesses de rotation s’étendent jusqu’à 4000 RPM
- plaque chauffante programmable à rampe de température de la société Harry Gestigkeit et son programmateur PR5 SR qui permet d’atteindre une température de 200°C
- masqueur aligneur MJB3 de la société Karl Süss avec un maximum de taille de plaque 3 pouces
- sorbonne de chimie pour le développement des résines
- machine de photolithographie directe par laser DILASE 250
Nous proposons des épaisseurs de résines SU8 déposées allant de quelques microns à 400 microns à partir de résines de la société Gersteltec (type 1040, 1060, 1070, 1075)
Pour le moulage de circuits microfluidiques nous sommes équipés d’une nettoyeuse à plasma de marque Harrick Plasma qui permet de préparer au collage les plaques de taille allant jusqu’à 4 pouces. Afin de finaliser les puces microfluidiques nous avons une étuve utilisé pour la réticulation du PDMS et son recuit.
contact
Responsable scientifique
Gwennou COUPIER
Bureau 309
Tel: 04 76 51 47 63
gwennou.coupieruniv-grenoble-alpes.fr (gwennou[dot]coupier[at]univ-grenoble-alpes[dot]fr)
Responsable scientifique adjoint
Philippe MARMOTTANT
Bureau 330
Tel: 04 76 51 43 33
philippe.marmottantuniv-grenoble-alpes.fr (philippe[dot]marmottant[at]univ-grenoble-alpes[dot]fr)
Equipe technique
Développement photolithographie directe
Mathilde VAN MELLE-GATEAU
Bureau 303
Tel: 04 76 63 58 71
mathilde.gateauuniv-grenoble-alpes.fr (mathilde[dot]gateau[at]univ-grenoble-alpes[dot]fr)
Responsable technique
Danièle CENTANNI
Bureau 201
Tel: 04 76 51 47 97
daniele.centanniuniv-grenoble-alpes.fr (daniele[dot]centanni[at]univ-grenoble-alpes[dot]fr)
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