Fabrication de circuits microfluidiques PDMS | LIPhy

La fabrication des circuits microfluidiques en PDMS est une part importante de l’activité de microFab , car la demande interne au LIPhy est forte. La salle blanche, située en salle 132 du laboratoire, est sous la responsabilité de Mathilde Van Melle-Gateau, qui encadre la gestionnaire de la salle, Danièle Centanni.

Les principales étapes de fabrication d’une empreinte sont :

mise en forme du masque représentant le circuit
dépôt de la résine photosensible sur plaque de silicium 3"
exposition UV et révélation de l’empreinte du circuit

Cette étape peut être réalisée de deux façons : exposition à travers un masque, ou écriture directe par laser, grâce à un appareil acheté en 2019 (Dilase par Kloé)
et si le demandeur souhaite un produit fini...

moulage du PDMS sur cette empreinte
collage sur lame de verre
mise en place de la connectique fluidique

Ci-dessous un exemple de moule en SU8 avant moulage par la résine PDMS (épaisseur de SU8 de 140microns)

contact

Responsable :
Développement photolithographie directe
Mathilde VAN MELLE-GATEAU
Bureau 303
Tel: 04 76 63 58 71
mathilde.gateauuniv-grenoble-alpes.fr (mathilde[dot]gateau[at]univ-grenoble-alpes[dot]fr)

Gestionnaire de salle :
Danièle CENTANNI
Bureau 202
Tel: 04 76 51 47 66
daniele.centanniuniv-grenoble-alpes.fr (daniele[dot]centanni[at]univ-grenoble-alpes[dot]fr)

Correspondant scientifique
Gwennou COUPIER
Bureau 309
Tel: 04 76 51 47 63
gwennou.coupieruniv-grenoble-alpes.fr (gwennou[dot]coupier[at]univ-grenoble-alpes[dot]fr)

Correspondant scientifique adjoint
Philippe MARMOTTANT
Bureau 330
Tel: 04 76 51 43 33
philippe.marmottantuniv-grenoble-alpes.fr (philippe[dot]marmottant[at]univ-grenoble-alpes[dot]fr)