Fabrication de circuits microfluidiques PDMS

Elle prend en charge toute la chaine de fabrication de ces micro-dispositifs, après définition avec le demandeur. Les principales étapes de fabrication d’une empreinte sont :

• mise en forme du masque représentant le circuit
• dépôt de la résine photosensible sur plaque de silicium 3"
• exposition UV et révélation de l’empreinte du circuit

Cette étape peut être réalisée de deux façons : exposition à travers un masque, ou écriture directe par laser, grâce à un appareil acheté en 2019 (Dilase par Kloé)
et si le demandeur souhaite un produit fini...

• moulage du PDMS sur cette empreinte
• collage sur lame de verre
• mise en place de la connectique fluidique

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Ci-dessous un exemple de moule en SU8 avant moulage par la résine PDMS (épaisseur de SU8 de 140microns)

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